Lithografie für Halbleiter

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Lithografiesysteme sind Schlüsselanlagen in der Halbleiterfertigung, die mikroskopisch kleine Schaltkreisstrukturen auf Siliziumscheiben übertragen. Das Segment ist ein oligopolistischer Markt, dominiert von wenigen hochspezialisierten Herstellern. Extreme Ultraviolett-Lithografie ermöglicht die Fertigung der kleinsten Chip-Strukturen und ist unverzichtbar für neueste Halbleitergenerationen.

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